4200-SCS型半導體特性分析系統

完整的DC I-V、C-V和脈沖解決方案

4200-SCS系統是用于器件、材料和半導體工藝電氣特性分析的完整解決方案。這種先進的參數分析儀具有無可比擬的測量靈敏度和精度，同時集成了嵌入式Windows操作系統和吉時利交互式測試環境Interactive Test Environment，為用戶進行半導體器件特性分析提供了直觀而高級的功能。他是一套功能強大的單機解決方案。

要想獲取某種器件或材料的特性參數，需要三種基本的電氣測量技術。4200-SCS提供了這三種功能：

l 精密直流電流-電壓（I-V）測量是實現器件電氣特性分析的基礎。

l 交流阻抗，包括大家熟知的電容-電壓（C-V）技術，能夠提供直流測量本身無法提供的器件特性。

l 脈沖和瞬態測試增加了一個時域維度，支持器件的動態特性分析。

硬件

4200-SCS采用了模塊化、可配置、可升級的架構。這使得它能夠準確滿足當前的測量需求，并通過擴展滿足后期的需求。它的9個儀器插槽可以混合配置4種核心測量模塊。

l 多達9個精密直流源-測量單元能夠提供和測量0.1fA到1A的電壓，或者1μV到210V的電壓。

l 利用4210-CVU（C-V模塊）可以方便的在1kHz到10MHz測試頻率下進行交流阻抗測試?？梢詼y量的電容范圍從aF級到μF級。

l 利用4225-PMU超快I-V模塊可以進行脈沖和瞬態測量。該模塊具有兩個獨立的電壓源，能夠以1V/ns的步幅調整電壓，輸出同時測量電壓和電流。當安裝了多個模塊時，他們內部同步的精度小于3ns。

l 選擇兩種不同的數字示波器模塊能夠方便而高效地生成數字波形。

軟件

吉時利交互式測試環境（KITE）提供了一套完整的圖形用戶界面，無需編程即可支持幾乎所有類型的特性分析測試。他提供了400多種標準的特性分析測試，包括MOSFET、BJT晶體管、二極管、電阻器、太陽能電池、碳納米管和NVM存儲器，例如Flash、RRAM、PCRAM等等。

l 直觀的、點擊式Windows操作環境

l 獨特的遠端前置放大器，將SMU的分辨率擴展至0.1fA

l 新型C-V儀器使得C-V測量與DC I-V測量一樣容易

l 支持半導體高級測試所需的脈沖和脈沖I-V測試功能

l 示波器卡具有集成式示波器金額脈沖測量功能

l 配套的PC機支持快速測試設置。具有強大的數據分析、繪圖和打印功能，可存儲大量測試結果

l 獨特的瀏覽器式項目瀏覽器按照器件類型組織測試，支持多路測試，具有設定測試序列和循環控制功能。

l 內置點擊式可靠性測試的應力/測量、循環和數據分析功能，包括5種JEDEC兼容測試范例

l 支持各種LCR表、吉時利開關矩陣配置，以及吉時利3400系列和安捷倫81110脈沖發生器

l 支持Cascade Microtech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200型和PA-300型、Micromanipulator8860、Signatone CM500探測器和手動探測器的軟件驅動

l 高級半導體建模功能支持吉時利的IC-CAP器件建模工具包驅動，支持Cadence BSIMProPlus/Virtuoso和Silvaco UTMOST