ACS自動特性分析套件系統

一個強大的軟件解決方案——寬范圍硬件配置

吉時利的自動特性分析套件（ACS）是一款靈活、交互式軟件測試環境，用于器件特性分析、參數測試、可靠性測試，甚至簡單功能測試。ACS支持多種吉時利儀器和系統、硬件配置和測試設置，從QA實驗室中使用的一些臺式儀器到全集成的自動化機架式參數測試儀。此外，ACS軟件環境在不同硬件條件下能夠保持一致地運行效率，大大減輕了從一個實驗室或部門向另一個地方轉移測試所需的工作，簡化了在不同系統之間對比測試結果的過程。ACS具有極強的測試和分析靈活性，對于新用戶無論其是否具有編程經驗，ACS直觀的GUI界面能夠簡化測試儀器配置、測試設置、I-V測量、結果獲取和快速分析過程。

l 開發和運行器件級、site級、晶圓級和晶匣級測試

l 易用的測試項目，僅需很小改動甚至無需修改

l 真并行測試

l 支持寬范圍儀器和探針

滿足晶圓級可靠性測試需求的可擴展解決方案
ACS-2600-RTM

ACS晶圓級可靠性選件

吉時利自動化參數測試系統（ACS）中的晶圓級可靠性（WLR）測試子系統，使您獲取產品壽命預測的速度比傳統WLR測試方案快2-5倍。ACS-WLR軟件采用交互式接口，提供強大的應力/測量時序定制工具，能夠測試器件可靠性（HCI、BTI等）、柵氧完整性（TDDB、JRAMP、VRAMP等）和金屬互連性（EM）。ACS軟件具有靈活的測試時序定制功能，支持前測試和后測試，以及內應力測試和應力監測功能。并集成了包含標準參數提取算法的公式編輯器，使您只用點擊操作就能容易地進行分析計算。

基于多臺2600A系列數字源表的系統架構，使ACS實現將各個SMU配置為一個大規模、緊密協同的工作組進行并行測試，或者配置為若干個較小規模的工作組并行測試多個器件。SMU的內處理器和虛擬背叛融合了它們最佳的測量速度，具有精確的源/測量時序，這對于捕捉快速閃現的擊穿事件是至關重要的。

兼容JEDEC的WLR測試例程，諸如熱載流子注入（HCI）已經嵌入到ACS-2600-RTM中。值得注意的是，在此測試設置中如何將需要的全部測試參數包含在一個對話窗口中。不過，如果您的設備需要修改此標準例程，點擊屏幕上的Text標簽定制圖形用戶界面（GUI）就能滿足您的具體要求。

ACS-2600-RTM包括范圍廣泛的分析工具和繪圖軟件，例如，HCI壽命測試結果的Weibull圖。還包括log-normal、log-log和其他繪制類型等；內建的繪圖工具可以提供定制繪圖。可根據晶圓上所有元件的測試結果為晶圓圖著色，從而您能迅速、方便地定位生產工藝中存在的問題。

l 可配置2-44條源-測量通道

l 兼容所有常用的晶圓探針臺

l 支持串行測試和并行測試

l 集成多個硅單元并行測試的功能

l 兼容JEDEC的全面測試套件

l 實時繪圖和繪制晶圓圖